生产管理知识-SMT生产中的静电防护技术（DOC 15页）

SMT 生产中的静电防护技术
编者按：在电子产品制造中，静电放电往往会损伤器件，甚
至使器件失效，造成严重损失，因此 SMT 生产中的静电防
护非常重要。本刊分别邀请北京、上海的两位专家撰文介绍
与分析电子产品制造中的静电产生源及静电防护原理，较详
细地介绍了 SMT 生产中的一些静电防护技术基础与相应措
施。供大家参考。
1．静电和静电的危害
静电是一种电能，它存留于物体表面，是正负电荷在局部范
围内失去平衡的结果，是通过电子或离子的转换而形成的。
静电现象是电荷在产生和消失过程中产生的电现象的总称。
如摩擦起电、人体起电等现象。
随着科技发展，静电现象已在静电喷涂、静电纺织、静电分
选、静电成像等领域得到广泛的有效应用。但在另一方面，
静电的产生在许多领域会带来重大危害和损失。例如在第一
个阿波罗载人宇宙飞船中，由于静电放电导致爆炸，使三名
宇航员丧生；在火药制造过程中由于静电放电(ESD)，造成
爆炸伤亡的事故时有发生。在电子工业中，随着集成度越来
越高，集成电路的内绝缘层越来越薄，互连导线宽度与间距
越来越小，例如 CMOS 器件绝缘层的典型厚度约为 0．1μm，
其相应耐击穿电压在 80-100V；VMOS 器件的绝缘层更薄，
击穿电压在 30V。而在电子产品制造中以及运输、存储等过
程中所产生的静电电压远远超过 MOS 器件的击穿电压，往
往会使器件产生硬击穿或软击穿(器件局部损伤)现象，使其
失效或严重影响产品的可靠性。
为了控制和消除 ESD，美国、西欧和日本等发达国家均制定
了国家、军用和企业标准或规定。从静电敏感元器件的设计、
制造、购买、入库、检验、仓储、装配、调试、半成品与成
品的包装、运输等均有相应规定，对静电防护器材的制造使
用和管理也有较严格的规章制度要求。我国也参照国际标准
制定了军用和企业标准。例如有航天部、机电部、石油部等
标准。
2．静电敏感器件(SSD)
对静电反应敏感的器件称为静电敏感元器件(SSD)。静电敏