真空泵的选择(doc4)

真空泵的选择
选用真空泵时，需要注意下列事项：
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜
要求 1×10-5mmHg 的真空度，选用的真空泵的真空度至少要 5×10-6mmHg。通常选择泵的
真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为 10-
3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为 5×
10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在 10-8mmHg 下
长期工作。又如钛升华泵可以在 10-2mmHg 下工作，但其工作压强应小于 1×10-5mmHg 为好。
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足
抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高
的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩
有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵
不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故
都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水
环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加
上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选
择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、
颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油
真空泵，或者把油蒸气排到室外。
8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选
择无振动的泵或者采取防振动措施。
9、真空泵的价格、运转及维修费用。
水环式真空泵的选择
一、泵类型的确定
　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
　　泵工作时，需要注意以下两个方面：

尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不
稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽
蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，
以致泵无法工作。
　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压
力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高