危险源辨识与评价清单-硅芯车间管理标准及管理措施手册（新）

1 适用范围
硅芯拉制、硅加工、超纯水制备、硅料清洗作业所涉及的人员、设备及作业环境。
1.1 　管理标准与管理措施
1.1.1 管理对象（工种）：硅芯拉制
任
务
开车前的准备、开车操车、正常停车
管
理


部
门
本单位
监
管


人
员
班组长、技安员、单位领导
任 务 1
开车前的准备
所需
工具
活动扳手、管钳、洁净手套
管理
标准
1.
设备安装就位并清洗合格；
2.
硅芯炉保压已完成，设备具备使用条件；
3.
厂房内上下操作平台，地面处理等均已结束；
4.
清理炉室确保无异物及粉尘，保证炉内洁净；
5.
确认硅芯炉循环冷却水泵工作正常；
6.
确认板式换热器工作正常，冷冻水进水压力为 0.5MPa，脱盐水进水压力为
0.6MPa；
7.
打开硅芯炉循环冷却水出水开关，然后打开硅芯循环冷却水进水开关，并确
认硅芯循环冷却水压力 0.13～0.2MPa，进水水温 23～28℃；
8.
确认氩气经二级减压阀组后进入硅芯炉的压力为 0.2～0.3MPa；
9.
确认真空泵能正常工作、真空泵排气管道通畅；
10. 控制电源、高频电源已送人硅芯厂房，设备具备带电条件；
11. 硅芯炉单独接地系统符合高频设备接地要求，接地电阻≤1Ω。
任 务 2
开车操车
所需
工具
洁净手套
管理
标准
1.
打开高频及电控柜的总电源开关，启动高频灯丝，使灯丝预热 3 分钟；
2.
调节功率电位器调至”0”位,调节上下轴升降和下轴旋转电位器至”0”位并
调至慢速；
3.
用脱脂纱布蘸上分析纯的乙醇擦净炉膛、上轴、籽晶转盘、籽晶夹头。
4.
用脱脂纱布沾上分析纯的乙醇擦拭炉膛,窥视孔,线圈,下轴和基座硅棒夹头；
5.
用润滑油脂均匀涂抹于下轴上,并开动下轴升降开关,使其在连接处充分润
滑；
6.
带上洁净手套或用无尘纸取 4 个籽晶（长度为 50mm）分别装入 4 个籽晶夹头
中,拧紧夹头后,其中 1 支直接装入上轴飞机翅膀自动夹头中,其余 3 支放在籽晶转
盘中,取下手套,关闭并拧紧上炉门。
7.
带上洁净手套将硅芯料装入基座硅棒夹头中,将硅芯料的轴心和线圈中心同
心，误差≤1.5mm，取下籽晶夹头，在籽晶上套上钼丝，装上籽晶夹头，将籽晶钼
丝部位降到线圈中心，关闭并拧紧下炉门；
8.
装料时不应用力过大,以免造成下轴弯曲影响其稳定运行；
9.
关好炉门、关闭放空阀、真空球阀，打开真空泵、真空球阀将系统抽至 10Pa
以下；
10. 对设备进行保真空，泄漏率 10 分钟＜3Pa，设备真空度满足要求。
11. 打开仪表盘上的手动阀从 0 开始逐渐增大氩气流量至 2000～2500qnl/h，当
压力表显示炉内压力为 0.04～0.08Mpa 时关闭氩气手动阀。
12. 并重复进行抽真空、保真空、充压操作，以便达到所要求的保护气的质量。
13. 启动高频：打开“灯丝开”预热 3 分钟→打开“高压开”→调节“功率调节
旋钮”并观察电流及电压，正常后将板间电压调至 5kv 左右进入化料；
14. 启动高频时若不正常则将功率调为零，关闭“高压停”，请相关专业人员检测
后方可重新启动“高压开”）；
15. 透过下窥视孔观察籽晶的亮度，当籽晶发红时用慢速电动调节上轴保持籽晶
不黑不流至籽晶在线圈上方，调节下轴至线圈下方 2cm 左右；
16. 将电压调高 0.5kv 左右，将籽晶熔化的部分滴几滴在硅料上面进行预热，适
当降低下轴防止加热过快及受热不均匀以致硅料受到应力炸裂；
17. 当硅料变红时调节“功率调节”旋钮至板压 6kv 左右再调节下轴至合适位置，
调节“功率调节”旋钮时高频电压≤7.0KV；
18. 设置好上下轴上升速度，当料凸起的部分光滑时将功率调小，调节上下轴至